Дата и время

Лабораторная установка ЯШМА 2


Эта машина является развитием проекта "Яшма-1" и также предназначена для обработки образцов небольшого размера (до 500 х 500 мм) с помощью плазмы магнетронного разряда и ионных пучков. В отличии от установки "Яшма" установка "Яшма-2" дополнена следующими элементами:


Система управления основана на программируемом логическом контроллере и персональном компьютере. Опыт ее эксплуатации показал, что она очень эффективна для оптимизации технологии нанесения модифицирующих оптических антикоррозионных покрытий и т.д.

Slide 1
Slide 2
Slide 3


Основные технические характеристики установки "Яшма"

Максимальные габаритные размеры плоских изделий, мм
500 x 500
Максимальная высота объемных образцов, мм
250
Состав покрытий
немагнитные металлы,
их сплавы, оксиды
Объем рабочей камеры, м3
0,51
Объем шлюзовой камеры, м3
0,13
Максимальный размер шлюзования, мм
500 x 500 х 350
Диаметр поворотного стола, мм
450
Давление шлюзования, Па
5
Остаточное давление в рабочей камере, Па
4,0 х 10-3
Время шлюзования (среднее), с
450
Время получения рабочего вакуума в режиме шлюзования, с
720
Скорость перемещения рабочего стола, мм/с
2 - 50
Скорость вращения поворотного механизма, об/мин
2,24
Напряжения питания магнетронов, В
100 - 550
Максимальный ток разряда, А
12
Ускоряющее напряжение ионного источника, кВ
15 - 40
Ток ионного пучка, мA
10 - 45
Диаметр ионного пучка в верхнем сечении шлюза, мм
200
Расстояние оси пучка от оси вращения стола, мм
90
Неравномерность распределения ионов по сечению, %
25
Неравномерность скорости напыления протяженного магнетрона
по поверхности стола (500х500 мм), %
5
Диаметр катода дискового магнетрона, мм
100
Размер катодов протяженного магнетрона, мм
108 х 680
Магистраль электроснабжения (3 фазы, 50-60 Гц), В
380-220
Максимальная потребляемая мощность установки, кВт
16,5
Расход охлаждающей воды, 20oС, м3/час
0,54
Расход рабочего газа, л/час
1 - 2
Габаритные размеры, вакуумной системы
(без высоковакуумного агрегата), мм
1400 х 850 х 2150
Масса установки, кг
800
Установочная площадь с зоной обслуживания, м2
20