Ионно-плазменные установки по обработке листового стекла: серия "ОПАЛ"
Предназначена для нанесения многослойных низкоэмиссионных покрытий со структурой типа "оксид - защитная пленка - серебро - защитная пленка - оксид" и покрытий, поглощающих или отражающих свет, т.е. способна наносить зеркальные и тонирующие покрытия. В качестве оксидной пленки могут быть использованы оксиды металлов типа SnO2, TiO2 и т.д.
Схематичный вид рабочей линии установки "ОПАЛ-3Про"
Схематичный вид рабочей линии установки "ОПАЛ-5"
установки "ОПАЛ-3Про" на рабочем месте
Основные технологические особенности установки перечислены ниже:
- Листы стекла обрабатываются попарно, в вертикальном положении, в специальной кассете, которая управляется электроприводом.
- Рабочие органы устройств (ионные источники, магнетроны) подвешены к дверям вакуумных камер. Благодаря этому их легко обслуживать.
- Установка снабжена автоматической системой управления на базе программируемых логических контроллеров и персонального компьютера.
- Компьютер визуализирует технологический процесс, обеспечивает оператору удобный интерфейс управления параметрами установки, протоколирует режимы выполнения операций установки, содержит справочные материалы, инструкции и другие технические документы к установке.
- Установка может содержать специальную загрузочную камеру, которая позволяет в одном операционном цикле производить как загрузку, так и выгрузку. Такая версия установки получила название "Опал-3 Про".
- Адаптация установки под конкретные требования Заказчика.
Установки серии «Опал» имеют следующую структуру:
шлюзовая камера → щелевой вакуумный затвор → камера выравнивания скоростей → камера выравнивания скоростей → откачная камера → рабочая камера (ионный источник) → откачная камера → рабочая камера (сдвоенный магнетрон) → откачная камера → рабочая камера (сдвоенный магнетрон) → откачная камера → рабочая камера (сдвоенный магнетрон) → откачная камера → рабочая камера с тремя планарными магнетронами → откачная камера → рабочая камера (сдвоенный магнетрон) → откачная камера → рабочая камера (сдвоенный магнетрон) → откачная камера → рабочая камера (сдвоенный магнетрон) → камера выравнивания скоростей → камера выравнивания скоростей → щелевой вакуумный затвор → выходная шлюзовая камера
Технические характеристики установки "Опал3Про"
| Параметр | Величина |
| Максимальный размер обрабатываемого стекла | 1605 х 3005 мм |
| Число планарных магнетронов | 3 шт. |
| Число дуальных магнетронов | 6 шт. |
| Число ионных источников | 2 шт. |
| Скорость движения каретки со стеклом, мм/с | 2-80 мм/с |
| Максимальное остаточное давление газа | 5 * 10-3 Па |
| Длина магнетронов | 1950 мм |
| Предельная неравномерность осаждённой плёнки по длине магнетрона | (+/-) 2% |
| Пример структуры наносимого теплоотражающего покрытия | TiO2 (или SnO2) –[Ni(80%),Cr(20%)]– Ag –[Ni(80%),Cr(20%)] – TiO2 (или SnO2) |
| Производительность при осаждении теплоотражающих покрытий | 50 м2/час |
| Производительность при осаждении тонирующих покрытий, | 60 м2/час |
| Расход рабочего газа, л/час | 60 |
| Напряжение питания ионного источника | 1 – 3,5 кВ |
| Ток ионного источника | 0,1 – 2,0 А |
| Максимальная потребляемая мощность |
200 кВт |
| Максимальная мощность магнетронов |
25 кВт |
| Занимаемая площадь | 250 м2 |